报告网讯，在高端半导体设备领域，我国科研团队再次取得标志性进展。随着量子计算和先进封装技术的快速发展，精密光刻设备已成为全球科技竞争的核心赛道。近日，国内自主研发的首台商用电子束光刻机"羲之"完成应用测试并投入市场，其0.6纳米级加工精度达到国际顶尖水平，为我国在高端制造领域突破关键技术瓶颈提供了重要支撑。
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