华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目(四)(子包2:离子注入机、子包4:步进式光刻机)二次(项目编号:0835-220Z11909631-2)招标公告

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一、项目基本情况

项目编号:0835-220Z11909631-2

项目名称:华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目(四)(子包2:离子注入机、子包4:步进式光刻机)二次

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